深圳市震华等离子体智造有限公司

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详细说明

真空式等离子清洗机(60升)

产品型号: ZH-ZQ-60L

产品简介:真空等离子清洗机是气体分子在真空、放电等特殊场合下产生的物质,等离子清洗/刻蚀产生 等离子体的装置是在密封容器中设置。广泛应用于表面去油及清洗等离子刻蚀,  聚四氟

(PTFE)及聚四氟混合物的刻蚀、塑料、玻璃、陶瓷的表面活化和清洗、等离子涂镀聚合等   工序,因此又应用于汽车电子领域、军工电子领域、 PCB制成行业等高精密度领域。

应用领域:

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手机智造业

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半导体芯片

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金属重工业

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新能源发电

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医疗制造业

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汽车制造业

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智能化工业

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材料印刷业


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  • 商品说明

型号

ZH-ZQ-60L

控制系统

PLC+触摸屏

电源

380V/AC,50/60Hz,5.0kw

射频电源功率

600W/ 13. 56MHZ /或40KHZ/ 1000W

容量

80升(可以根据客户要求定制尺寸规格)

层数

6

单层有效处理面积

300 (L)*400 (W) mm

气体通道

两路0 - 300sccm ,

工作气体可选: Ar、N2、O2、CF4、H2等

油泵/干泵真空泵(可以选配)

油泵/干泵真空泵(可以选配)


◆  等离子发生系统包含等离子电源、等离子发生腔体等

◆  等离子电源采用高品质射频电源,频率13.56MHz、0-600KW,,运行准确,精度高,能稳定提供等离子所需能量

◆  等离子发生腔体为ZHEN HUA-PLASMA专利设计真空腔体,处理效果强均匀性高


电话:400 8010 703


邮箱:Zhenhua1005@sina.com


地址:深圳市宝安区沙井街道后亭社区百通科技创新产业园A栋

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