深圳市震华等离子体智造有限公司

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详细说明

真空式等离子清洗系统（80升~110升）

产品型号： ZH-ZQ-80L   ZH-ZQ110  

产品简介：等离子体是一种中性、高能量、离子化的气体。其中包括中性原 子或分子、电子、活性基团、激发态的核素、光子等。

应用领域：

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手机智造业

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半导体芯片

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金属重工业

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新能源发电

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医疗制造业

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汽车制造业

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智能化工业

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材料印刷业


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名称

真空式等离子清洗系统

真空式等离子清洗系统

型号

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ZH-ZQ-80L

ZH-ZQ-110

控制系统

PLC+触摸屏/外置电脑操作

PLC+触摸屏

电源

380V/AC,50/60Hz,5.0kw

380V/AC,50/60Hz,6.0kw

射频电源功率

600W/ 13. 56MHZ /或40KHZ/ 1000W

600W/13.56MHz

容量

80升(可以根据客户要求定制尺寸规格)

110升

层数

8

10

单层有效处理面积

300 (L)*400 (W) mm

500（L）*550（W）mm

气体通道

两路0 - 300sccm ，

工作气体可选: Ar、N2、O2、CF4、H2等

两路0-200slm,工作气体可选： Ar、N2、O2、CF4、H2等

油泵/干泵真空泵（可以选配）

油泵/干泵真空泵（可以选配）

油泵/干泵真空泵（可以选配）


◆  等离子发生系统包含等离子电源、等离子发生腔体等

◆  等离子电源采用高品质射频电源，频率13.56MHz、0-600KW，，运行准确，精度高，能稳定提供等离子所需能量

◆  等离子发生腔体为ZHEN HUA-PLASMA专利设计真空腔体，处理效果强均匀性高

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