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等离子设备用什么气体等离子设备用什么气体？ 等离子设备分为大气低温等离子（直喷式及旋转式等离子）/真空等离子（独立 式真空等离子及在线式等离子处理系统）/宽幅等离子（宽幅等离子分为宽幅氩 气等离子及宽幅氮气等离子）。 大气低温等离子：主要气体是压缩空气，氮气。 宽幅氩气等离子：射频电源，主要气体是氩气和氧气。 宽幅氮气等离子：中频高压电源，主要气体为氮气+小量压缩空气 真空等离子：中频电源及射频电源都可以，主要是压缩空气；氮气；氩气；氧气； 氦气；四氟化碳；氢气等等（关键在于气体比例及） |
