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详细说明

真空式等离子清洗机（180升）

产品型号： ZH-ZQ-180L  

产品简介：等离子体是一种中性、高能量、离子化的气体。其中包括中性原 子或分子、电子、活性基团、激发态的核素、光子等。

应用领域：


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手机智造业

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半导体芯片

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金属重工业

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新能源发电

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医疗制造业

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汽车制造业

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智能化工业

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材料印刷业



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  • 商品说明

名称

真空等离子处理系统

等离子处理效果

设备型号

ZH-ZQ-180L

1、表面活化：处理后材料表面能大幅提升，亲水性、粘接性显著改善，后续涂覆、印刷等工艺附着力更强。

2、刻蚀：增加表面粗糙度，优化材料与其他物质的结合性能。

3、清洁：深入材料表面微小缝隙，快速去有机残留等杂质。

4、键合：PDMS微流控器件，活化表面促键合；还能为晶圆键合前预处理，清洁活化，提升键合质量。

 

外形

参数

设备型号

中频真空腔体等离子处理机

设备尺寸

1150 X宽950 X高1700mm

重量

500KG

设备外观颜色

PANTONE7527U

总电源

380V/AC 50/60Hz  8KW

激励

电源

等离子发生器

中频电源

功率

50-5000W可调

频率

40KHz

水平抽屉式抽取尺寸

5层，层距135mm

气体

系统

气压量程

0-500 SCCM

工艺气体

（气路）

标配三路气体（Ar、N2、O2、H2、CF4）可选

控制

系统

系统控制

PLC

操作方式

触摸屏

 

设备特点：

◆  产品放置治具灵活多变，可适应不规则的产品；

◆  水平电极设计，可满足软性产品处理需求；

◆  低耗能、耗气产品；

◆  便捷的收放板方式；

◆  真空系统集成，占地面积小；

◆  合理的等离子反应空间，使处理更均匀；

 


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